芯片生產過程中,使用多種化學物品,廠區(qū)內設有儲存這些化學物品的化學品庫,化學品種類達80種。按照gb13690-92《常用危險化學品的分類及標志》規(guī)定中對常用危險化學品,按其主要危險特性進行分類,該項目中使用的危險化學品有壓縮氣體和液化氣體,易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別,這些物質的主要危險危害為:
有毒有害氣體(如ash3、ph3、sih4、co等)如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆,有的可在空氣中自燃,有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。
氧化劑(如過氧化氫等)如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災爆炸。
易燃液體(如丙酮、異丙醇等)如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災爆炸。
腐蝕品(如酸類、堿類等)如泄漏與人體接觸可引起化學灼傷。
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